RawData1 [렛유인 KDC 교육] 반도체 공정설비 데이터분석 3차시 : 설비 Raw Data의 분류와 공정-설비의 관계 1. 들어가며2차시 교육에서는 팹 안팎에서 발생하는 설비, 소자·계측, 설계·소재·운영 데이터를 분류하고 그 특징을 살펴보았습니다. 3차시에서는 한 단계 더 들어가, 설비가 실시간으로 생성하는 Raw Data의 세부 분류와 공정·설비간의 관계, 그리고 데이터 분석이 실제로 무엇을 목적으로 하는지를 정리했습니다.2. 설비 Raw Data의 5가지 분류반도체 설비가 공정을 진행하면서 생성하는 Raw Data는 크게 다섯 가지로 나눌 수 있습니다.① Wafer 진행 관련 정보어떤 웨이퍼가 어느 챔버에서 언제 처리되었는지를 추적하는 정보입니다. Chamber ID, Wafer Count, Datetime, Wafer Number, Step Description 등이 이에 해당합니다. 이 데이터는 이후 모든 분석.. 2026. 3. 7. 이전 1 다음 반응형
