pipe1 [렛유인 KDC 교육] 반도체 장비 5일차 : 유틸리티(Utility)와 배관 설계 (Tube vs Pipe) 1. 반도체 장비의 생명선, 유틸리티(Utility)지난 시간까지는 장비 내부에 집중했다면, 오늘은 장비를 가동하기 위해 외부에서 공급되는 유틸리티(Utility)와 이를 연결하는 배관(Piping)에 대해 학습했다.Fab 내에는 Grating(Fab의 바닥) 아래로 수많은 배관이 지나가며, 각 장비에 필요한 소스들을 공급한다. 주요 유틸리티는 다음과 같다.CDA (Compressed Dry Air): 공압 밸브(Pneumatic Valve) 등을 구동하는 데 사용되는 압축 공기.PCW (Process Cooling Water): 장비 냉각수. 단순히 식히는 용도뿐만 아니라, 과열로 인한 센서 오작동을 방지하는 역할도 한다.DI Water (De-ionized Water): 초순수. 주로 세정(Clean.. 2026. 1. 29. 이전 1 다음 반응형
