wafer map1 [렛유인 KDC 교육] 반도체 공정설비 데이터분석 5차시 : 공정 Split 분석과 데이터 시각화 실전 1. 들어가며4차시에서는 FDC의 원리와 설비 데이터의 구조, 그리고 그 방대한 규모를 살펴보았습니다. 5차시에서는 실제 분석 현장에서 데이터를 어떻게 다루는지, 즉 공정 Split 분석과 데이터 시각화의 실전적인 방법론을 다루었습니다. 2. 공정 데이터의 구조 : Input과 Output분석에 앞서 공정 데이터가 어떤 구조로 이루어져 있는지 먼저 정리할 필요가 있습니다.Input (독립 변인) : 소재, 레시피 파라미터, (레시피 외) 설비 파라미터가 해당합니다. 분석가가 조절하거나 관찰하는 원인 측의 변수입니다.Output (종속 변인) : 계측(구조, 결함), ET(Electrical Test), EDS 등이 해당합니다. 실제 분석에서는 주로 계측 쪽을 보게 됩니다. Input과 Output, 즉 .. 2026. 3. 11. 이전 1 다음 반응형
