venting1 [렛유인 KDC 교육] 반도체 장비 2일차 : 진공 제어와 Load Lock(LL) 메커니즘 1. Load Lock(LL)의 정의와 역할지난 1차시에서 다룬 EFEM이 대기압(ATM) 상태라면, TM과 PM은 고진공(Vacuum) 상태를 유지해야 한다. 이 극단적인 압력 차이를 연결하는 완충 구간이 바로 Load Lock(LL) Chamber다.LL은 단순히 웨이퍼가 지나가는 통로가 아니라, 다음 3가지 핵심 기능을 수행하는 복합 모듈이다.Buffer Module (완충): 양쪽에 Slot Valve가 있어 대기압과 진공 사이에서 압력을 조절하며 웨이퍼를 이송한다. Slot Valve를 통해 대기압 구간(EFEM)과 진공 구간(TM)을 물리적으로 격리한다. 한쪽 밸브가 열릴 때 다른 쪽은 반드시 닫혀 있어야 하며, 이를 통해 압력 균형을 조절하며 웨이퍼를 이송한다.Cooling Module (냉.. 2026. 1. 12. 이전 1 다음 반응형
