[반도체 장비사] TEL의 유튜브로 보는 도쿄일렉트론은 무슨 기업인가?

0. 모든 시작의 시작 도쿄일렉트론(TEL)

평소 인스타그램으로 팔로우하며 소식을 챙겨보던 도쿄일렉트론코리아(TEL Korea)가 공식 유튜브 채널을 개설했다는 소식을 듣고 바로 구독을 눌렀습니다.

인스타에서 보던 카드뉴스나 짧은 영상도 좋았지만, 더 양질의 정보를 챙겨보기엔 유튜브가 더 좋다고 생각합니다. 이번에 올라온 첫 영상을 보면서, 그 안에 담긴 말들이 왜 TEL의 핵심 경쟁력인지 정리해 보려고 합니다.

1. 도쿄일렉트론(TEL)은 어떤 기업인가?

도쿄일렉트론(TEL)은 반도체를 “직접 만드는 회사”라기보다, 반도체를 만들게 해주는 제조 장비를 만드는 기업입니다. 반도체 생산 공정에 맞춰 다양한 장비 포트폴리오를 제공하며, 공정 전반을 지탱하는 핵심 플레이어로 소개됩니다.

영상은 “우리는 아주 작은 일을 합니다.”로 시작합니다. 반도체에서 나노 단위의 정밀함의 중요성을 담고 있습니다. 대부분의 반도체 관련 회사들이 좋아하는 말인 것 같습니다.

또한 이어서 나오는 "300mm 웨이퍼라는 거대한 무대 위에서 10마이크로미터의 홈을 살피고, 1나노미터의 오차도 허용하지 않는 태도"가 곧 반도체 산업의 본질임을 말합니다.

2. 영상 속 핵심 키워드 : 300mm Wafer

영상에서 나오는 300mm(12인치) 웨이퍼는 오늘날 첨단 반도체 양산을 대표하는 규격이며, 웨이퍼 전체 면적에서 균일한 품질과 재현성을 확보하는 것이 경쟁력의 출발점이 됩니다.

• 생산성 : 웨이퍼 지름이 클수록 한 번에 만들 수 있는 칩(Net Die)의 수가 크게 증가합니다. 현재 첨단 메모리와 로직 반도체의 표준이 바로 이 300mm(12인치)입니다.
• 기술적 난이도 : 웨이퍼가 커질수록 중앙과 Edge의 공정 Uniformity를 맞추기가 매우 어렵습니다. TEL은 웨이퍼 전면의 플라즈마 밀도와 가스 유량을 정밀하게 제어하는 기술을 보유하고 있다고 합니다.

3. 영상 속 핵심 키워드 : Etching (식각 공정)

“쓸모없는 것은 덜어내기를 반복”이라는 대사는 Etching을 아주 직관적으로 설명하는 문장입니다. 필요한 패턴을 남기기 위해 불필요한 재료를 제거하는 공정이며, 미세화·적층화가 진행될수록 정밀한 제어가 더 중요해집니다.

TEL은 300mm 전력반도체용 식각 시스템(UDEMAE)을 제품으로 공개한 바 있습니다.​
또한 TEL은 Cryogenic Etching(극저온 식각) 같은 첨단 식각 기술을 자사 채널에서 소개하며, 차세대 공정 방향성과 연결합니다.

- 왜 TEL의 Etching인가? : High Aspect Ratio & Cryogenic

요즘 3D NAND 플래시 메모리는 200단, 300단을 넘어 400단 이상으로 쌓아 올려지고 있습니다. 이렇게 높게 쌓은 빌딩에 위에서 아래까지 한 번에 구멍을 뚫는 기술이 필요한데, 이를 HARC(High Aspect Ratio Contact) 에칭이라고 합니다.

• 극저온 식각(Cryogenic Etching): TEL은 영하의 극저온(Cryogenic) 환경에서 식각을 진행하여 식각 속도를 획기적으로 높이는 기술을 개발했습니다.
• 이게 왜 대단한가?: 깊게 뚫다 보면 구멍이 휘거나(Bowing) 막히기 쉬운데, 극저온 기술을 쓰면 10µm 깊이를 단 33분 만에 아주 곧고 빠르게 뚫을 수 있다고 합니다.​

4. CD 제어

영상은 “1나노미터의 오차도 허락 없이”라고 말합니다. 이는 미세 공정에서의 CD(Critical Dimension, 선폭) 제어와 공정 변동성 관리가 얼마나 중요한지 보여줍니다.

TEL의 기술 자료에서도 CD uniformity 개선 같은 표현이 등장하며, 패턴의 균일성과 안정성이 중요한 과제로 다뤄집니다

5. AI, 모빌리티

영상에서는 “내일의 AI는 더 정확해질 겁니다. 모빌리티는 더 안정적으로 진화하고 로봇은 인류를 더 닮아가겠죠.”라고 확장합니다. 반도체의 성능과 신뢰성이 AI·모빌리티·로봇의 발전 속도를 결정하며, 결국 우리의 일상과 산업 전반을 바꾼다는 연결 구조를 강조합니다. 우리가 화려하게 생각하는 로봇, AI, 자율주행 등등은 결국 기초적인 반도체 장비로부터 시작됩니다.

장비라는 뿌리가 튼튼해야 결국 화려한 기술들이 꽃 피울 수 있다고 생각합니다. 그래서 영상 제목인 모든 시작의 시작이 정말 도쿄일렉트론을 잘 표현하고 멋있는 문장이라고 생각합니다.

6. insight

이번 영상이 말하는 “아주 작은 일”은 양산 현장에서 나노 단위의 오차를 줄여 고객의 생산성과 신뢰성을 지키는 일이라고 생각합니다.​

결국 양산 현장이 요구하는 것은 “작은 변화를 끝까지 관리해 결과를 흔들리지 않게 만드는 사람”이라고 생각합니다. 저는 CS 엔지니어를 목표로, 현장에서 발생하는 이슈를 빠르게 정리하고 데이터와 로그를 근거로 원인을 좁힌 뒤, 조치와 재발 방지(표준화)까지 연결하는 역량을 갖추고자 합니다.

 

출처 :  도쿄일렉트론코리아 유튜브

https://youtu.be/Uh6pAIQNuqc?si=VjxFRVnCQmvYP16l